一、工作原理方面的區別

純水設備采用先進的反滲透技術，其工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態的礦物質元素通過反滲透膜。溶解在水中的絕大部分無機鹽（包括重金屬）、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使滲透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開。

超純水設備是在反滲透技術的基礎上，添加了離子交換和終端處理技術，有些還有深度離子除鹽、超濾和UV光氧化作用設備。盡可能徹底地去處天然水中常見的可溶性無機物、有機物、顆粒物、微生物、可溶性氣體等雜質。

二、產水水質方面的區別

純水設備的出水水質，一般達到新版的《生活飲用水新標準》即可。

超純水設備的產水水質有比較嚴格的要求，一般根據應用行業的特殊性，電導率需達12MΩ、15MΩ、17MΩ、18MΩ、18.2MΩ等不同級別的超純水。

三、采用工藝方面的區別

純水設備采用反滲透工藝，對水施加的壓力，水通過孔徑只有0.0001微米反滲透膜，過濾掉水中0.02-0.4或0.4-1微米的病毒、細菌等雜質。

超純水設備常用的工藝方法有蒸餾法、反滲透法、離子交換法、過濾法、吸附法、紫外氧化法等，將水的純化過程大致分為4大步，預處理（初級凈化）、反滲透（生產出純水），離子交換（可生產出18.2MΩ.cm超純水）和終端處理（生產出符合特殊要求的超純水）。

四、設備用途方面的區別

純水設備的用途：

1、小型純水站、團體飲用純水；

2、食品、飲料、飲用水的制備；

3、海水、苦咸水的淡化；

4、制藥工業工藝用水；

5、電廠化學水處理；

6、精細化工、精尖學科用水。

超純水設備的用途：

1、超純材料和超純試劑的生產和清洗；

2、電子、半導體、精密機械行業用超純水；

3、電池產品的生產；

4、半導體產品的生產和清洗；

5、電路板的生產和清洗；